更新時間:2024-01-03
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供應SAT-5D等離子鍵合儀/刻蝕,等離子鍵合儀/刻蝕采用高頻13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配,穩(wěn)定可靠,具有自動保護功能。
品牌 | 賽奧特(SAT) | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子 |
型號:SAT-5D | 品牌:賽奧特(SAT) |
不銹鋼/石英艙體 | Φ150 mm×L255mm |
工作氣路 | 兩路,可以選配MFC控制 |
射頻頻率 | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-150W,可調(diào),掃頻自動匹配 |
控制系統(tǒng) | 液晶屏+薄膜數(shù)字按鍵,實時顯示和檢測艙內(nèi)真空度值 |
時間范圍 | 0—99分59秒連續(xù)可調(diào) |
工作壓力 | 樣品倉內(nèi)200Pa以內(nèi)根據(jù)進氣量自動調(diào)節(jié) |
工作氣體 | 空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
進氣壓力 | 空氣:常壓 連接氣體鋼瓶:0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手動模式和程序化自動模式 |
真空泵 | 抽速:1升到5升每秒 |
輸入電源 | ~220V/50Hz |
整機尺寸(D*W*H) | 552X590X295mm |
重量(約) | 28Kg |