等離子體被稱為“物質(zhì)的第四態(tài)”。我們通常認知和接觸的物質(zhì)狀態(tài)有三種：氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)，同一種物質(zhì)所含能量不同時，會在三種狀態(tài)之間相互轉(zhuǎn)換，zui低能量狀態(tài)是固態(tài)，固態(tài)吸收能量轉(zhuǎn)化成液態(tài)，液態(tài)吸收能量轉(zhuǎn)化成氣態(tài)，氣態(tài)是三個狀態(tài)中能量最高的。氣態(tài)物質(zhì)吸收更多的能量，就會產(chǎn)生物質(zhì)的第四態(tài)，也就是等離子體。等離子體呈電中性，由電子、離子、光子和中性粒子組成，其中電子和正離子的數(shù)量基本相等，但等離子體并是穩(wěn)定的物質(zhì)狀態(tài)，當使其電離的能量消失，各種粒子會重新結(jié)合，形成原來的氣態(tài)分子。

　　

　　導致等離子清洗機變色原因及解決辦法如下：

　　被清洗件表面變色的主要原因有兩點，一是因射頻頻率、功率選擇不當，導致零件整體溫度過高，造成材料變性或整體氧化；二是因零件形狀復雜，等離子體在零件局部形成了熱點，導致局部溫度過高，造成局部變性或氧化。

　　

　　總的來說變色是由于產(chǎn)品表面被氧化導致，解決辦法如下：

　　如果產(chǎn)品易被氧化，一般可以充入氬氣和氫氣的混合氣體，把氫氣比例控制在一定范圍內(nèi)，兼顧安全性和效率的平衡，易被氧化的產(chǎn)品，應該避免清洗腔室有氧氣的存在，可以通入氫氣將氧氣還原掉。此外功率過大溫度過高導致的產(chǎn)品變色，可以適當調(diào)整降低功率，將其控制在一個合適的范圍內(nèi)。