設(shè)備的日常維護(hù)：

　　1、檢查油的位置。

　　2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油。

　　3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。

　　4、一般情況下，工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等要停止使用時(shí)，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機(jī)。

　　5、在工作第一個(gè)月內(nèi)，經(jīng)100小時(shí)更換潤(rùn)滑油，以后每個(gè)500小時(shí)，換油一次。

　　6、經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。

　　7、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時(shí)更換。

　　8、在寒冬季節(jié)使用時(shí)，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。

　　9、長(zhǎng)期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。

　　

　　由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。