隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的設(shè)備。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種按其性能要求組合起來，以機組型式應(yīng)用。

　　

　　結(jié)構(gòu)特點：

　　1、泵總體結(jié)構(gòu)型式

　　它的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

　　立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

　　臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

　　泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。

　　

　　2、泵的傳動方式

　　它的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。

　　

　　常用真空泵包括干式螺桿泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。